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How to remove scallop polymer residual after STS2 DRIE
2015-12-14
Youmin Wang (2 parts)
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Mehmet Yilmaz (2 parts)
2015-12-14
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2015-12-14
Youmin Wang (2 parts)
How to remove scallop polymer residual after STS2 DRIE
Youmin Wang
2015-12-14
Hello Everyone,
I want to etch the silicon structure below to half of its heigh (from 2un
to 1um) in standard BOSCH process:
[image: Inline image 1]
However I got a lot of sidewalls un-removed:
[image: Inline image 2]
I tried with EKC270 post-etch cleaning but there are still quite a few
sidewalls still there, topview is like:
[image: Inline image 3]
Do you think whether my etching recipe has any problem, or you know whether
I can do something post-etch to clean those standing sidewalls? Thanks a
lot!
Best,
Youmin
‰PNG

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Le Minh Chau Hôtel à Saigon

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Le Minh Chau Hôtel est ce genre d’établissements qu’on aimerait croiser un peu plus souvent. Avec des prix défiant toutes concurrences, je m’attendais au pire sauf qu’il se releva être plutôt confortable et bien situé. Je vous fais la visite!

Dormir au Minh Chau Hôtel

Pour ce séjour, j’avais envie de tout sauf de me retrouver dans les quartiers touristiques du district 1. Ayant aussi un petit budget, je me suis rabatu sur un hôtel plutôt excentré et à un prix vraiment attractif (moins de 10€ la nuit). Me voilà donc en direction de mon hôtel pour ce séjour de 4-5 jours.

Une fois sur place, j’ai tout de suite vu la différence! Pas un touriste dans les parages! L’hôtel étant dans le fond d’une petite ruelle, je me retrouve plongé dans une vie locale palpitante. Je me rends donc à la réception, et comme je l’avais noté, les tenanciers ne parlent pas un mot d’anglais (seul le fils, et encore).

minh chau hotel saigon

Cas cela ne tienne, je prends ma clef et file visiter ma chambre. Cette dernière se trouve au dernier étage, et sans ascenseur! C’est pas grave, ça me fait de l’exercice!  Après 3 étages, me voici donc dans ma chambre. Propre aux premiers aspects, et plutôt confortable, je suis agréablement surpris. Je pose dons mes bagages.

minh chau hotel saigon

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J’ai donc le droit à tous les services tels qu’Internet, TV, eau chaude, service de chambre et clim. Tient, en parlant de clim, la mienne avait presque rendu l’âme au point qu’elle ne crachait presque plus d’air froid. Une chance quand on pense qu’il fait souvent plus chaud au dernier étage.

C’est le seul point noir que j’ai pu relever. Sinon mon séjour s’est très bien déroulé. D’ailleurs, cela m’a permis de découvrir une autre facette du Vietnam que j’explique dans cet article.

Le fait d’être dans un quartier viet est vraiment un plus. Autant pour la découverte, que pour le budget quotidien.

banniere video tutoriel

[box type= »download »] Mon avis: Pas de vidéo pour cet hôtel, néanmoins, si vous avez envie de profiter d’un séjour paisible et loin de la folie des quartiers touristiques, c’est l’hôtel dans lequel vous rendre. Petit bémol tout de même, dû à la climatisation qui était pratiquement HS. EN gros, de prenez pas les chambres du dernier étage (trop chaud) [/box]

Comment se rendre au Minh Chau Hôtel à Saigon et réservation

611/18 Dien Bien Phu Street, District 3, District 10 – Stade Phu Tho / Parc Ky Hoa, Ho Chi Minh,

Cliquez ici pour connaitre les tarifs et réserver votre chambre tout de suite

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Bonjour, je m'appelle Kevin. Blogueur et voyageur, je suis tombé amoureux du Vietnam un jour d'avril 2010. Depuis, je n'ai de cesse d'y retourner et de partager mes bons plans sur mon site. En savoir plus sur moi

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Delta - Documentação e Estudos em Linguística Teórica e Aplicada - ISSN (eletrônico) 1678-460X | ISSN (impresso) 0102-4450

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